专业的研发用台式CMP系统。布鲁克TriboLab CMP工艺与材料表征系统,经过全新设计,可以可靠、灵活、经济有效地表征晶圆抛光工艺。
布鲁克通用机械测试仪 (UMT) 平台自 2000 年推出型号以来,一直是市场上功能全、使用广泛的摩擦仪。