功能:

对芯片表面的缺陷进行辨识和归类。

技术性能:

TG9802-LD芯片目检机是针对激光芯片外观缺陷辨识所开发的高精度、高解 析度的检系统，应用于光通讯激光芯片制程所造成的外观缺陷检查，提升制品出货良率、检 测结果可作为提升制程良率的参考数据、结合前制程检测档案，从而提升 AOI 检测效率、节省人力。搭载纳米级光学系统， 及顶配国际品牌马达、导轨等重要零部件，达到设备极高的 精度及稳定性。

技术特点:

通过高分辨率 CCD ，分辨率达到 0.5um大小的缺陷可辨识，CCD 对芯片 外观进行定位 、拍照并结合软体灰阶计算法则进行瑕疵判定，瑕疵可按大小、比例、长宽、 形态组合卡控，针对搭接处瑕疵采用 AI 智能判定。

技术规格：