秉创科技(无锡)有限公司
秉创科技(香港)有限公司
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少子寿命测试设备
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少子寿命测试设备
少子寿命测试设备
名称:
少子寿命测试设备
型号:
MDPmap
品牌:
Freiberg Instruments
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产品详情
产品性能
灵敏度: 对外延层监控和不可见缺陷检测,
具有可视化测试的最高分辨率
测试速度: < 5 minutes,6英寸硅片, 1mm分辨率
寿命测试范围: 20ns到几ms
玷污测试: 产生于坩埚和生产设备中的金属沾污(Fe)
测试能力: 从切割的晶元片到所有工艺中的样品
灵活性: 允许外部激发光与测试模块进行耦合
可靠性: 模块化紧凑型台式检测设备,使用时间 > 99%
重复性: > 99.5%
电阻率: 无需时常校准的电阻率面扫描
常规寿命测试
无接触且非破坏的少子寿命成像测试: (μPCD/MDP(QSS),光电导率,电阻率和p/n型检测 符合半导体行业标准 SEMI PV9-1110
最多可集成4个不同波长光源,具有大范围可调的光注入水平,可对单点进行少子寿命的瞬态测试,
可对单点进行少子寿命的瞬态测试,也可对晶圆片进行面扫
应用案例
铁浓度测定
陷阱浓度测试
硼氧浓度测试
受注入浓影响的测试
MDPStudio
用户友好的高级操作软件:
导入和导出功能
多级用户账户管理
所有已执行操作总览界面
样品参数输入
单点测试,例如受注入影响的测试
原始数据获取
面扫描选项
菜单选项
分析功能包
线扫描和单点瞬可视化测试
远程操控:基于IP系统,允许在任何地方进行远程操控和技术支持