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Bruker隧穿磁比率测量仪
- 名称: Bruker隧穿磁比率测量仪
- 型号: SmartProber P1、SmartProber TT
- 品牌: BRUKER布鲁克
产品详情
布鲁克Bruker隧穿磁比率测量仪有平面内磁铁的低成本台式 CIPT 系统，适用于研究和开发
CIPT技术概述
•CIPT是⼀种⽆需图案化或接触的MTJ分析⽅法
•使⽤多针探头在样品表⾯进⾏测量
•通过拟合模型得出Rt、Rb、RA和TMR等参数
•优点包括快速反馈、早期检测⼯艺变化、不损坏样品表⾯
•局限性包括耗时、精度依赖于MTJ参数、对底层敏感
Rt、Rb、RA 和 TMR 的具体含义
1. Rt（Top Resistance，顶层电阻）
- 含义：磁隧道结（MTJ）顶层电极的电阻
- 重要性：反映了顶层电极的导电性能，影响整体器件的电学特性
2. Rb（Bottom Resistance，底层电阻）
- 含义：MTJ底层电极的电阻
- 重要性：表征底层电极的导电性能，同样影响整体器件的电学特性
3. RA（Resistance-Area product，电阻⾯积乘积）
- 含义：MTJ隧道势垒的电阻与其⾯积的乘积
- 单位：通常以Ω·μm²表⽰
- 重要性：
- 是衡量MTJ性能的关键参数
- 反映了隧道势垒的质量和厚度
- 较低的RA值通常意味着更⾼的器件性能和更低的功耗
4. TMR（Tunneling Magnetoresistance，隧道磁电阻）
- 含义：MTJ在平⾏和反平⾏磁化状态下电阻变化的⽐率
- 计算公式：TMR = (RAP - RP) / RP × 100%
其中，RAP是反平⾏状态的电阻，RP是平⾏状态的电阻
- 单位：通常以百分⽐表⽰
- 重要性：
- 是评估MTJ性能的核⼼指标
- 更⾼的TMR值意味着器件有更好的读取灵敏度和信噪⽐
- 在磁随机存取存储器（MRAM）等应⽤中，⾼TMR值⾄关重要
这些参数在CIPT（Current-In-Plane-Tunneling）测量中通过拟合模型得出，它们共同描述了MTJ的电学和磁学特性。通过分析这些参数，研究⼈员和⼯程师可以:
- 评估MTJ的质量和性能
- 优化制造⼯艺
- 预测器件在实际应⽤中的表现
SmartProber仪器系列
SmartProber P1：⼯业级仪器，适⽤于300mm晶圆，具有强磁场和⾃动化功能
- 硬件：⼯业级、兼容 100 级，强垂直磁铁（磁场 > 6000 Oe），磁场强度监测器，300mm 横向 / 旋转平台，⾃动探针着陆，易于操作 / 更换多针探针，全封闭互锁。
- 软件：固定核⼼模块⽤于探针着陆和测量执⾏，预编程测量 / 分析程序，授权的 CIPT 测量程序，改进的 CIPT 拟合程序，晶圆映射，可定制软件。
- 硬件选项：⾯内磁铁模块、⼿动⼩样品台、最⼤ 8 英⼨ X / Y 平台，可在垂直 / ⾯内模式间简单快速⼿动切换，⾯内模式可进⾏线扫描。
SmartProber TT：紧凑型台式模型，具有⾃动探针接近和强平⾯磁场
适⽤于学术⽤⼾，低吞吐量，⾼精度（测量和磁场），⾼灵活性，价格实惠。紧凑型桌⾯模型，⾃动探针接近，强⾯内磁铁（磁场 > 500 Oe），双极电源，⼿动 x - y 平台，6 英⼨样品台，被动防振台。垂直磁场选项：> 2000 Oe，需要安装 / 拆卸垂直电磁铁单元，阶段仅在⼀个⽅向移动。