布鲁克Bruker JV-QCTT/JV-QCRT X 射线衍射仪使用最新的x射线衍射成像(XRDI)技术，具有最全面的晶体缺陷检查解决方案。是专门为化合物半导体生产和研究实验室提供的X射线设备。

    型号：JV-QCTT, JV-QCRT

    功能：缺陷成像，数值式X射线形貌相 (透射式及横截面、反射式)

    晶圆尺寸：2-12英寸，可多片式

    客户群：晶片厂，比如Si, SiC, InP, GaAs, LiNbO3, CaF2, CdZnTe, HgCdTe等

XRDI (XRT)测量技术概述

    XRDI, X-ray diffraction imaging, X射线衍射成像（XRT, X-ray topography, X 射线形貌相），用于晶圆和IC工艺制造的X射线衍射计量。

 ❑反射模式                                                             ❑透射模式

图像如何产生

         1.原始数据是在X射线束下方扫描晶片时收集的帧的集合

2.这些框架被缝合成条纹

3. 显示软件将条纹组合成一个完整的图像

XRDI图像的对比度

数据处理流程

JV-QCRT：反射式形貌像，用于红外（CdZnTe、HgCdTe等）

▪Bruker QC-RT是用于CdTe和其他致密衬底的最先进的X射线衍射成像系统。

▪全自动晶圆对准和测量

▪自动图像拼接和输出

JV-QCTT：带可选反射通道的透射式形貌像，横截面像；用于GaAs、InP、GaN、Si、蓝宝石等

▪JJV-QCTT是晶圆制造和研发实验室形貌系统的重要选择

▪检测晶圆片内部缺陷，包括表面不可视缺陷(NVD)

▪全自动晶圆对准和测量，用于高分辨率审查中的整个晶圆调查或选定区域

▪表面不可视缺陷的自动缺陷检测、分类和KLARF报告

▪自动无损横截面审查测量，包括从KLARF文件移动到位置

▪自动高分辨率缺陷检查，低至11µm应变场

▪手动测量任何尺寸和形状的样品，最大300mm，可选机器人加载（2“至200 mm）

▪可选反射XRDI通道

▪低拥有成本